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ULVAC 成膜用RF電源 RMG-1303 RF電源システム 210007138700 1式 ■▼681-4234【代引決済不可】【送料都度見積】：プロキュアエース

ULVAC 成膜用RF電源 RMG-1303 RF電源システム 210007138700 1式 ■▼681-4234【代引決済不可】【送料都度見積】：プロキュアエース

Name: ULVAC 成膜用RF電源 RMG-1303 RF電源システム 210007138700 1式 ■▼681-4234【代引決済不可】【送料都度見積】：プロキュアエース
Brand: その他
SKU: asahiprocureace-681-4234
Price: 753,945 JPY
Availability: InStock
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商品情報

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メーカー名（株）アルバックプラス名称ＵＬＶＡＣ商品名ＵＬＶＡＣ　成膜用ＲＦ電源　ＲＭＧ－１３０３　ＲＦ電源システム型式210007138700メーカー希望小売価格【税抜】2097000円(税抜)オレンジブック年　ページ発注コード681-4234ＪＡＮコード1特長●低出力電力で1Wから制御が可能です。●500Hz～100KHzのパルスRF出力機能を標準搭載です。●13.56MHzの外部同期端子を標準搭載です。●C100V～AC220Vの幅広い入力です。●小型･軽量です。用途●スパッタリング装置用。●CVD装置用。●プラズマクリーニング装置用。●プラズマエッチング装置用。●プラズマアッシング装置用。●RFイオン源に。●RFニュートラライザーに。仕様●入力側電圧：AC100V/220V（単層）●入力側周波数：50/60Hz●入力側電源設備容量：0.7kVA●出力側電圧：VPP/VDC：2500V●出力側周波数：13.56MHｚ●出力側出力容量：300W●定格電流(A)：10●幅(mm)：200●高さ(mm)：200●奥行(mm)：350●制御方式：アナログ/デジタル、RS-232C●電源コード長さ(m)：5●出力周波数(Hz)：13.56MHz●入力周波数(Hz)：50/60●許容入力電圧変動(V)　：AC90-242●RoHS、CE、KC、SEMI-F47対応材質セット内容／付属品●表示パネル：RFP-N●入力ケーブル：AC01-N_5m●電源-表示パネル間ケーブル：CONT-N_4m注意原産国日本重量13KG納期目安お取寄品（都度問合せ）

ULVAC 成膜用RF電源 RMG-1303 RF電源システム 210007138700 1式 ■▼681-4234【代引決済不可】【送料都度見積】：プロキュアエース

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