CKD:小型流量センサ ラピフロー 型式:FSM2-NVF200-H063BN:配管部品 店

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写真同じです●流量監視に優れ、双方向計測も可能です。●設備や塗装エアの消費流量管理。●半導体製造装置パージガスの流量管理。●イオナイザの流量管理。●微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。●ノズルやフィルタの目詰まり検知。●最高使用圧力:0.7MPa●最低使用圧力:-0.09MPa●使用流体温度:0~50℃●適応流体:清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン・炭酸ガス)●精度保証範囲:3~100%F.S.●直線性:±3%F.S.以下●応答時間:50ms以下●EMC指令適合品●容器保護等級:IP40●アナログ出力:電圧1~5V●SW出力:2点●計量法に適合していませんので、工業用センサとして使用してください。●一次側にドレン、オイルミストなど異物除去用フィルタを設置してください。●表示機能分離タイプもございます。

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