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■特長
・ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構を装備しています。
・性能をさらに追求し、静音性、安全性、機能性を高めた上級機種です。
・ガスバラスト機構により、吸引する気体中の水分などを除去し、ポンプ油中に溶解することを防ぎます。
・Gシリーズをグレードアップしたタイプです。
・小型、省スペース。低騒音、低振動。低消費電力です。
■用途
・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
・真空乾燥器、凍結乾燥器。
■仕様
・排気速度(L/min)50/60Hz:50/60
・到達圧力(Pa):0.67
・吸気口径(mm):KF-25
・電源(V):単相100
・寸法(mm):165.5×395×222.5
・騒音値(dB):-
・質量(kg):13.9
・サーマルプロテクタ付(GLD-051、-136C、-201B)
・異電圧対応可(お問い合せください)
■注意
・高真空領域(10[[の-2乗]]Pa台)の能力がありますので、継ぎ手、容器などは高真空で十分に使用可能なものをお使いください。
■原産国
中国
■質量
13.9kg
■メーカー
アルバック機工(株)
■ブランド
ULVAC