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■特長
・ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
・モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。
■用途
・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
・半導体製造装置。
・真空蒸着装置、凍結乾燥器。
・医療用機器全般。
■仕様
・排気速度(L/min)50/60Hz:100/120
・到達圧力(Pa):0.67
・吸気口径(mm):27
・電源(V):単相100
・寸法(mm):234×500.5×264
・騒音値(dB):-
・質量(kg):23.1
・サーマルプロテクタ付
・異電圧対応可(お問い合せください)
■注意
・油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
・停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
・大気圧近くでの連続運転には不適当です。
■原産国
日本
■質量
23.1kg
■メーカー
アルバック機工(株)
■ブランド
ULVAC